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芯碁微裝:公司直寫光刻設備已在半導體領域的IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件制造實現(xiàn)應用并量產

每日經濟新聞 2021-08-25 13:11:41

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:尊敬的董秘:您好,我們每一名投資者都很關心公司的發(fā)展,特別想知道貴公司芯片光刻機的研發(fā)進度情況,預計什么時候可以量產,未來能產生多少業(yè)績?謝謝!

芯碁微裝(688630.SH)8月25日在投資者互動平臺表示,您好,感謝您的關注。公司直寫光刻設備已在半導體領域的IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件制造實現(xiàn)應用并量產,業(yè)績情況具體參見公司相關公告。

(記者 周宇翔)

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