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中國電科實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝全覆蓋

2023-06-29 11:07:28

每經(jīng)AI快訊,記者29日從中國電子科技集團有限公司獲悉,該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司已實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝制程全覆蓋,有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。(新華社)

責編 張喜威

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