每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：董秘您好，公司的部件、系統(tǒng)在整個半導體設備的多個工藝單元設備中都在做積極推進，相對而言，后道設備進展較快，整體上進入市場批量部署階段。前道設備中的應用推進相對滯后一些，整體上仍處于批量應用部署前期，目前這部分的營收規(guī)模也不大。請問在半導體前道設備中的應用，這部署前期營收規(guī)模不大的部分，，請問具體是前道光刻設備的應用還是蝕刻、清洗應用。謝謝！請解釋具體一些，麻煩了，

固高科技（301510.SZ）9月19日在投資者互動平臺表示，半導體加工工藝復雜，前道加工主要包括光刻、蝕刻、清洗、沉積等，另外晶硅生長、硅片加工相關設備也歸類為前道設備。 公司的部件、系統(tǒng)類產品在前道加工的多個工藝節(jié)點設備在做積極的嘗試與應用拓展。 前道設備這部分的營收目前規(guī)模不大，整體上仍處于批量應用部署前期，請投資者謹慎評估相關風險。

(記者 蔡鼎)

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