每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：您好，公司2023年上半年套刻精度檢測設備跟金屬薄膜量測設備業(yè)績情況還不錯，我想了解一下這部分訂單是哪一年的下單訂單的反饋，這部分訂單體量分別是多少？

中科飛測（688361.SH）11月3日在投資者互動平臺表示，公司90nm及以上工藝節(jié)點的套刻精度量測設備已實現(xiàn)批量銷售，對應2Xnm工藝節(jié)點測量需求的設備也已獲得多個國內(nèi)領先客戶的訂單。公司金屬薄膜膜厚量測設備市場認可進一步提升，覆蓋更多集成電路客戶需求。

(記者 蔡鼎)

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